MINI LED 真空Plasma FLEX-PS
MINI LED 真空Plasma FLEX - PS - 11L/13L：全自动控制，多特性设计，满足MINI LED加工需求
产品介绍
本设备是按照触摸屏行业mini LED产品清洁研发设计，产品由玻璃取放机械臂搬送至腔体电极上，电极上部有多条产品支撑，机械臂进入腔体到位后下降，产品被支撑条托住，机械臂抽出，产品依次放置，共计可放置10层产品；采用自动升降门的结构，节省开门空间，高度依据机械臂标准作业高度设计，最大限度的提升机械臂的作业范围，此设备采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。
详细说明
MINI LED 真空Plasma FLEX-PS-11L/13L
产品特点
采用全自动开关门
支撑条固定在电极上，节省空间
机械臂全自动上下料
产品尺寸：1050mm(L)*1600mm(W)*5mm(H)
进出料自动感应，以防产品漏加工
采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。
真空检测0-10 TORR(美国英福康)
产品详情
设备尺寸：1850mm(L)×1850mm(W)×2780mm(H)
真空室尺寸：800mm(L)×1100mm(W)×1350mm(H)（可按产能订制）
水平电 极板：电极板11层/13层，产品可放置10层/12层
电极板：标准：780mm*900mm
RF 等离子发生器 & 网络匹配：额定功率：0-10KW(AE)
过程温度控制：30-90℃恒定可控
气体流量控制器，扩展至 5 路气体：0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR)
真空测量：0-10 TORR( 美国或日本）
人机界面触摸屏：可根据中国区客户实际需求，中文界面
信号指示灯：3 色带警报
真空发生系统：干泵机组（台湾 HanBell 干式真空机组，）
产品信息
MINI LED真空Plasma FLEX - PS - 11L/13L设备优势显著。具备全自动开关门、机械臂自动上下料等功能，进出料自动感应防漏加工。采用PLC + 工控机系统实现全自动控制。其真空室尺寸可订制，电极板有11层/13层可选，过程温度恒定可控，还有多方面先进配置，适用于MINI LED加工。
